
真空旋转蒸发仪是一种常用的实验室设备,用于制备高纯度的薄膜材料。该装置主要由以下几个部分组成:
- 真空室:用于提供高真空环境,防止杂质对薄膜的影响。
- 旋转蒸发源:用于加热材料,使其蒸发并沉积在基底上。
- 基底夹持装置:用于固定基底,使其与旋转蒸发源保持一定距离。
- 旋转台:用于旋转基底,使薄膜均匀沉积。
- 真空泵:用于抽取真空室内的气体,维持高真空环境。
在使用真空旋转蒸发仪时,首先需要将基底夹持装置固定在旋转台上,并将待制备的材料放置在旋转蒸发源中。然后,将真空室密封并启动真空泵,将室内气体抽取至高真空状态。接着,启动旋转台和旋转蒸发源,使材料蒸发并沉积在旋转的基底上。最后,关闭旋转蒸发源和旋转台,停止真空泵,取出制备好的薄膜。
真空旋转蒸发仪具有制备高质量薄膜的优点,可以用于制备各种材料的薄膜,如金属、半导体、氧化物等。同时,该装置操作简单,易于掌握,是实验室中常用的制备薄膜的设备之一。