微型气泵是一种小型化的气体输送设备，通常用于微流控系统、生物芯片、医疗设备等领域。其结构主要由驱动部分、泵体、阀门和气路组成。
驱动部分是微型气泵的核心部件，通常采用压电陶瓷、电磁铁、形状记忆合金等材料作为驱动源。泵体是气体输送的主要通道，通常采用聚合物材料制成，具有良好的耐腐蚀性和密封性。阀门用于控制气体的流动方向和流量大小，通常采用微型电磁阀或微型机械阀。
气路是微型气泵的重要组成部分，其结构设计直接影响气体输送的效率和稳定性。常见的气路结构包括单向气路、双向气路和多向气路。单向气路只能实现气体的单向输送，适用于需要控制气体流向的场合；双向气路可以实现气体的正反向输送，适用于需要频繁改变气体流向的场合；多向气路可以实现多个气体通道的同时输送，适用于需要同时控制多个气体的场合。
微型气泵的优点在于其小型化、高精度、低功耗和可集成化等特点，可以满足微流控系统、生物芯片、医疗设备等领域对气体输送的高要求。未来，随着微纳技术的不断发展，微型气泵将会得到更广泛的应用和发展。
