爱德华真空泵是一种高效、可靠的真空泵，广泛应用于半导体、光学、化学、医疗等领域。以下是其中几款型号及其参数：
1. 爱德华 E2M28真空泵
- 抽气速度：21.6 m³/h
- 极限压力：7.7 x 10⁻⁴ Pa
- 电机功率：0.75 kW
- 重量：26 kg
2. 爱德华 E2M80真空泵
- 抽气速度：57 m³/h
- 极限压力：7.7 x 10⁻⁴ Pa
- 电机功率：1.5 kW
- 重量：70 kg
3. 爱德华 GXS160真空泵
- 抽气速度：160 m³/h
- 极限压力：5 x 10⁻⁵ Pa
- 电机功率：4 kW
- 重量：220 kg
以上是爱德华真空泵的部分型号及参数，不同型号适用于不同的场合和需求。无论是在半导体生产中的气相沉积、物理气相沉积等工艺中，还是在化学实验室中的真空抽取、蒸馏等实验中，爱德华真空泵都能够提供高效、稳定的真空抽取服务。
